فرن ترسيب بخار CVD العمودي

يتم إدخال فرن ترسب بخار CVD الدائري المزدوج المتوازي في ترسب البخار الكيميائي ، ومواد السلائف (عادة ما يتم إدخال المركبات العضوية أو المركبات العضوية المعدنية) في غاز التفاعل في غرفة التفاعل ، وهي تتحلل حرارياً أو تتفاعل كيميائيًا في درجات حرارة عالية. ، قم بإنشاء منتجات التفاعل ، والتي يتم إيداعها على الركيزة لتشكيل فيلم رفيع. يمكن استخدام هذه الطريقة لإعداد المعادن والسبائك وأشباه الموصلات والسيراميك ، وتستخدم بشكل رئيسي لإعداد المواد المركبة C/C و C/SIC و SIC/SIC بواسطة CVD و CVI.

يستخدم على نطاق واسع في الصناعات التالية وتصنيع المنتجات:

قرص فرامل الكربون الطيران المدني

مواد الحقل الحراري للكربون والكربون للمواد

الحقل الحراري للكربون الكربوني للكربون الكربوني لأفران هدرجة السيليكون البولي الكربونية

مواد حقل حراري للكربون الكربوني لأفران البناء السيليكون الكربوني وفرن

البنية الكربونية عالية درجة الحرارة الهيكلية

للكربون الكربون الكربون الكربون عالي درجة الحرارة. الأجزاء الأجزاء

الكربونية والكربون-سيليكون مركبات

كربيد

الكربون/كومة الكربون ، انهيار الحالة

دليل أنبوب الكربون

دليل

الكربون دليل

الكربون

/الكربون ،

لوحة الكربون الأسطوان

معلمة المنتج

1. النموذج: YHGEL-CJL **/**-** (مواصفات الحجم المخصصة)
2. طريقة التدفئة: تسخين مقاومة الجرافيت المتساقط
3. التحكم في الطاقة: انخفاض جهد التيار المستمر ، وضع تيار مرتفع
4. قوة التصميم هي 200 كيلو واط ، وقوة الإنتاج الفعلية لا تزيد عن 150 كيلو واط.
5. مزود الطاقة: نظام ثلاثي الأسلاك من ثلاث مراحل ، 380 فولت ، التردد 50 هرتز
6. درجة حرارة التصميم: 2100 ℃ ، درجة الحرارة الشائعة طويلة الأجل هي 2000 ℃ ؛
7. طريقة التبريد: التبريد الطبيعي
8. مساحة مواد فعالة للمواد: مخصصة حسب العميل
9. معدل التدفئة: عند التحميل ، يكون متوسط ​​معدل التدفئة أقل من 1000 ℃ 5 ℃/دقيقة ، ومتوسط ​​معدل التدفئة بين 1000-1800 ℃ هو 5 ℃/دقيقة ، ومتوسط ​​معدل التدفئة بين 1800-2250 ℃ هو 3 ℃/ دقيقة.
10. دقة التحكم في درجة الحرارة: درجة حرارة غرفة RT -2000 ℃ ≤ 5 ℃
11. تكوين مزود الطاقة: متكامل مع جسم الفرن
12. نوع جسم الفرن: تفريغ الباب الأمامي الأفقي
13. محتوى الغاز العام في الفرن: الفراغ أو AR ، N2 ، NH₃ والغازات الأخرى (ضغط إيجابي طفيف) ، استبدال الفراغ ؛ (التحكم التلقائي في الضغط الثابت في نطاق 100-7500Pa)
14. توحيد درجة الحرارة: ≤ ± 3 ℃ (تم تقييمه بعد 30 دقيقة من درجة الحرارة الثابتة) ؛
15. قياس درجة الحرارة: قياس درجة حرارة التنغستن متعددة المناطق
16. التحكم في درجة الحرارة: اليابان Shimaden FP23 ، التحكم في برنامج تحكم درجة الحرارة الذكي (دقة التحكم في درجة الحرارة: ± 0.1 ℃) والتحكم اليدوي ؛
17. طريقة الحماية: PLC+شاشة تعمل باللمس+الصوت والضوء المنبه
18. تكوين نظام الفراغ: مضخة صمام الشريحة 2H-150
19. قياس الفراغ: مقاومة + مقياس فراغ أفلام السعة ، مقياس قياس 0-10-5 باسكال
20. معدل ارتفاع الضغط: إخلاء إلى 5pa ، أوقف المضخة لمدة 30 دقيقة وبدء توقيت ، وارتفاع الضغط في الساعة 10p
21. الفراغ النهائي البارد: ≤5pa (في حالة فرن نظيفة ، باردة ، فارغة)
22. وقت الفراغ الفارغ للفرن ≤30 دقيقة (فرن فارغ ، درجة حرارة الغرفة ، راجع GB/T10066.1-2004 للاختبار.)
23. الحد الأقصى للضغط في الفرن 0.02mpa
24. مقياس تدفق الكتلة: بكين Qixing Huachuang
25. نظام التبريد: جميع أنابيب المياه المتداولة مغلقة جيدًا ولا يوجد تسرب أثناء الاستخدام ؛
26. التحكم الكهربائي: شاشة Siemens PLC + Delta 15 بوصة. يمكن الاستعلام عن المعلمات الرئيسية مثل الفراغ ودرجة الحرارة والطاقة في الوقت الفعلي وتاريخيًا ، ويمكن تصديرها من خلال محرك أقراص فلاش USB وإعداد مسجل بدون ورق.
27. يتم استخدام المواد المستوردة للمكونات الرئيسية ، مثل أدوات التحكم في درجة الحرارة ومقاييس الحرارة.
28. طريقة الافتتاح: يدوي
29. طريقة إدخال المواد والخروج: مزودة بشاحنات دخول وخروج خاصة
30. لون الطلاء: جسم رئيسي حليبي أبيض ، إطار سماء أزرق ، أسود قاعدة

معرض المنتجات